鋐棋科技重磅产品将亮相科交会
4月21日,记者从合肥新站高新区获悉,该区新入驻企业鋐棋(合肥)科技有限公司生产的3款半导体高端精密零部件产品,将亮相4月26日至28日举办的第四届中国(安徽)科技创新成果转化交易会,填补区域空白
4月21日,记者从合肥新站高新区获悉,该区新入驻企业鋐棋(合肥)科技有限公司生产的3款半导体高端精密零部件产品,将亮相4月26日至28日举办的第四届中国(安徽)科技创新成果转化交易会,填补区域空白。
据悉,这3款产品均为芯片制造中的关键零部件,分别为XP4/XP8 Axis(工艺衬套件)、Shower Head(气体喷淋头)和Lamp Housing(灯罩组件)。“我们企业技术源自中国台湾,经过20余年的积淀,已成为国内为数不多可量产5纳米先进制程核心零部件的企业之一。这次即将亮相科交会的3款产品是我们企业的拳头产品,像总部位于合肥的芯片龙头企业都是我们的意向客户。”鋐棋科技副总经理刘帅说。
尤其值得一提的是,鋐棋科技自主研发制造的XP4/XP8 Axis(工艺衬套件),填补安徽在此项技术方面的空白。组件采用耐等离子体蚀刻特种合金定制化加工,实现关键工艺区域全维度防护,维护更换后工艺环境无偏差、制程参数无漂移,保障晶圆加工良率与设备连续生产效率,全面满足先进半导体制程高稳定性、高稼动率的严苛生产要求。

鋐棋科技自主研发制造的XP4/XP8 Axis(工艺衬套件)。
在芯片制造的神秘殿堂里,Shower Head(气体喷淋头)被称为“黄金花洒”,它虽不起眼,却决定着芯片制造的成败。长期以来,这一关键部件被国外巨头垄断,成为制约我国半导体产业发展的“卡脖子”环节。而鋐棋科技通过自主研发,将攻克材料、加工和设计3大技术壁垒,实现Shower Head的国产化生产,为“中国芯”注入新动能。

鋐棋科技助力半导体关键耗材Shower Head实现国产化替代。
鋐棋科技总经理钟士文告诉记者,企业自2025年10月正式落户合肥新站高新区以来,依托合肥的半导体产业生态,深耕薄膜沉积、刻蚀、快速热处理等关键制程领域,以创新为驱动,持续为更多半导体核心部件实现国产替代贡献力量,助力皖产“中国芯”走向世界舞台中央。
中国(安徽)科技创新成果转化交易会是以安徽省政府主办的唯一“国字号”展会,此前已成功举办3届,有效促进科技成果、技术需求、科技金融、科技人才等对接。业内人士表示,鋐棋科技作为首次参展的“新面孔”,就有3款重磅产品入围,足见其半导体关键耗材领域的“硬实力”。
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